周晓东此时继续向杨力持解释道：“这种汞灯光源系统的光刻机设备到时候不合适加工更先进的大规模集成电路设备后依然可以用来加工分立器件、功率器件、模拟芯片等产品，这样的光刻机设备需求量是相当大的，我们并不担心这种设备会被淘汰掉。”
“另外我们研制的电子束系统和离子源其实就是为更先进光源系统做准备的，对于研制出这些高品质的高功率光源系统我本人还是非常有信心的。”
周晓东开口说道：“我们国内的科学家在十多年前就在实验室里面利用利用激光等离子体软射线为激励源，观察到离子性氟化氩准分