“周董，们是如何把光刻机工件台运动精度误差控制在如此低程度的？”
童院长此时开口开口问道。
“我们自身研制出了超高精度的脉冲编码器可以对直线电机进行纳米级别的移动，另外控制系统里面导入了动态误差补偿算法。”
周晓东说道：“我们在大功率脉冲电源技术和功率放大器技术上技术底子做得还是很不错的，自身能研制出直线电机超高精度的脉冲编码器和高精度驱动电源模块和高性能的功率放大器模块，这方面的技术我们比国外产商做得还要好。”
“另外我们自己研制的超高精度光栅尺可