“严格地说，是我们在光刻机设备的工件台这种关键部件系统上取得了突破，通过我们的试用测试，我们研制的工件台部件系统运动精度平均偏差控制在了四点五纳米，运动标准偏差做到了七纳米，按照这个技术指标来算的话，我们工件台系统可以满足六十五纳米制程工艺的光刻机设备需求。”
周晓东此时向一号首长汇报道。
“六十五纳米？”
一号首长此时瞪大了眼睛。
“是的，这是我们在实验生产线里面通过使用测试得到的数据，不过我们还在进行工件台装置的耐久可靠性方面的测试，这个测试过程差